UTM70B/日本ulvac愛發(fā)科/ 真空泵 /陶瓷滾珠軸承式渦輪分子泵/復合翼型渦輪分子泵

DSMRO0030

它是一種復合翼型渦輪分子泵，采用陶瓷球軸承。通過集成控制器和泵實現(xiàn)節(jié)省空間。由于優(yōu)異的高背壓特性，輔助泵的小型化成為可能。

實現(xiàn)節(jié)省空間。由于優(yōu)異的高背壓特性，輔助泵的小型化成為可能。

特點
·安裝方向自由
安裝方向沒有限制，因此設備設計的自由度增加。

·車載控制器安裝的
控制器安裝在渦輪機主體上，因此對于布線和排氣系統(tǒng)的小型化非常有效。

，高壓縮比，Kohai圧
壓縮比是高的，從而允許輔助泵的小型化，因為它可以在高背壓下操作。

?3種類型的設置凸緣的
VG65，ICF114，可以是三種類型ISO63-K的進氣口法蘭的選擇。

- 
設計用于在泵停止時以及在清潔真空操作期間具有較少的碳氫化合物回流。

· 
無噪音噪音小于48分貝且安靜。
（ISO 63的測量值 - K法蘭型。）
使用
和分析設備，研究和開發(fā)的設備，所述主排氣系統(tǒng)中，諸如實驗室設備

，汽相沉積設備，在主排氣系統(tǒng)中，如濺射裝置

的輕質氣體如H2·，主排氣系統(tǒng)中他

UTM70B/日本ulvac愛發(fā)科/ 真空泵 /陶瓷滾珠軸承式渦輪分子泵/復合翼型渦輪分子泵

公司名稱 ULVAC公司
ULVAC公司
商標 ULVAC
創(chuàng)建 1952年8月23日
代表： 代表董事兼執(zhí)行官Iwashita Setsuko總裁
資本 20，873，045，2555日元
員工人數(shù) 1,293，合并6,439（截至2018年6月30日）
業(yè)務內容 顯示器，太陽能電池，半導體，電子電器，金屬，機械，汽車，化學，食品和制藥工業(yè)和真空設備，外圍設備，真空組件，開發(fā)，制造，銷售和客戶的載體的材料的大學和實驗室 - 進出口機械設備。此外，一般的真空技術研究指導/技術顧問。


我們的公司，我們成立了進口和各種真空設備的銷售簽署了假設美國NRC設備公司和技術結盟于1952年代理協(xié)議的目的?；饡蟮闹饕椖咳缦?。

1952年 八月 成立日本獎勵科技有限公司（資本600萬）進口和銷售各種真空設備。
1955年 四月 成立大森工廠，開始生產國產設備。
1956年 十一月 我們合并了東洋精機真空實驗室有限公司，開始生產標準產品，如真空化學設備和真空泵作為尼崎工廠。
1959年 四月 總公司和大森工廠遷至橫濱市。
1961年 七月 應用真空技術的基礎，開始了真空冶金業(yè)務。
1962年 九月 成立真空材料有限公司（商品名改為ULVAC MATERIALS CORPORATION），開始銷售耐火材料。
1962年 十月 真空科學與工程（現(xiàn)為·Advance科學與工程有限公司）成立，是一家專業(yè)的熱分析設備制造商
1963年 十月 雖然被合并到新生產業(yè)株式會社（1929年9月20日成立），改名為當日公司名稱和ULVAC公司，繼續(xù)前ULVAC公司的業(yè)務。
1964年 一月 外國分公司信賴部，與美國Reliance Electric and Engineering Co.共同投資成立Japan Reliance Co.，Ltd ..
1964年 七月 成立香港ULVAC有限公司，與香港制造有限公司合資成立。
1966年 四月 分離真空冶金事業(yè)部成立真空冶金有限公司
1968年 五月 總公司和橫濱工廠搬遷到茅崎市。
1970年 七月 成立Sanwa ULVAC Sales Co.，Ltd。（商品名改為ULVAC East Japan Co.，Ltd。）為壟斷經銷商。
1971年 七月 真空機械有限公司（現(xiàn)為ULVAC Kiko Co.，Ltd。）是一家專業(yè)生產小型真空泵的企業(yè)。
1972年 七月 在千葉縣成立新的超級材料研究實驗室。
1975年 十二月 ULVAC北美公司（現(xiàn)為ULVAC Technologies，Inc。）在北美成立，作為出口到美國的基地。
1977年 一月 成立九州ULVAC INC。（現(xiàn)為ULVAC九州株式會社），擴大在九州地區(qū)的銷售活動。
1979年 一月 分離服務部門，成立ULVAC服務有限公司 分離SI部門，成立ULVAC Film Deposition Co.，Ltd。
1981年 十月 與美國Helix Technology Corp.共同投資成立ULVAC·CRYO CO。，LTD。
1982年 一月 在臺灣臺北成立ULVAC TAIWAN Co.，Ltd。（現(xiàn)在·ULVAC TAIWAN INC。）。
1982年 十一月 ULVAC·Phi Co.，Ltd。與美國Perkin Elmer公司共同成立。
1982年 十二月 茨城縣筑波科學城（現(xiàn)在筑波市）在市內設立筑波超級材料研究所。
1983年 二月 北京辦事處在中國北京開業(yè)。
1985年 三月 我們?yōu)楹司圩冴P鍵等離子體實驗設備“JT-60”提供了真空泵系統(tǒng)。
1985年 四月 成立ULVAC SEIKI CO。，LTD作為關西的基地工廠。
1987年 一月 為了加強大型設備的生產系統(tǒng)，在青森縣八戶市建立了東北航空技術株式會社（現(xiàn)ULVAC東北株式會社）。
1987年 二月 在西德成立ULVAC GmbH，以加強歐洲的服務結構。
1987年 五月 成立ULVAC企業(yè)中心有限公司，為集團公司提供支持。
1987年 九月 英文公司名稱改為ULVAC Japan，Ltd。
1988年 十月 九州真空技術有限公司在鹿兒島成立，建立了真空泵的批量生產系統(tǒng)。
1990年 五月 為了加強半導體制造設備的生產系統(tǒng)，在靜岡縣Sus野市新設立富士Sus野工廠。
1991年 十二月 九州真空科技有限公司合并了ULVAC SEIKI Co.，Ltd。，更名為ULVAC SEIKIKI CO。，LTD。
1992年 四月 資本金從12.1億日元增加到38.3億日元。
1992年 六月 資本金增加至38.5億日元。
1994年 十月 ULVAC服務有限公司合并ULVAC MATERIALS CO。，LTD。，更名為ULVAC Techno Co.，Ltd。
1995年 五月 在韓國首爾成立ULVAC KOREA，Ltd ..
1995年 九月 與寧波中國機械動力機械集團有限公司合資成立寧波愛知醫(yī)用真空技術有限公司。
1996年 十一月 為了擴大真空設備的生產能力，東北航空技術株式會社，Ulvac Kyushu株式會社在鹿兒島工廠增設了清潔工廠。
1998年 一月 新加坡CS中心，臺灣新竹研發(fā)中心開業(yè)，以擴大亞洲的網絡。
2000 四月 開設臺北五星服務中心。
2000 八月 我們在ULVAC KOREA，Ltd。建立了平澤工廠作為生產工廠。
2001年 五月 在寧波愛知醫(yī)用真空技術有限公司新建工廠
2001年 七月 公司名稱改為ULVAC Co.，Ltd。（英文名稱：ULVAC，Inc。）
2001年 十一月 加強客戶支持ULVAC TAIWAN INC。成立桃園CIP工廠。
2002年 一月 成立ULVAC SINGAPORE PTE LTD以加強客戶支持系統(tǒng)。
2002年 七月 ULVAC East Japan Co.，Ltd。合并了Takayama ULVAC CO。，LTD。，將公司名稱更改為ULVAC EIS Co.，Ltd。（現(xiàn)為ULVAC Selling Co.，Ltd。）。
2002年 十二月 收購美國物理電子美國公司擁有的ULVAC·PHI Corporation股份（50％），并成為其全資子公司。
2003 三月 從美國RELIANCE ELECTRIC COMPANY收購Nippon Reliance Co.，Ltd。股份（31％），將其股份增加至81％。
2003 五月 Ulvac Tohoku Co.，Ltd.，ULVAC Techno Co.，Ltd.，UMAT Co.，Ltd。在東北建立了機械加工，表面處理，精密清洗一體化工廠。
2003 七月 成立了真愛科技（蘇州）有限公司，作為中國的一家規(guī)模生產廠和一家CS解決方案工廠。
2003 八月 收購Litrex Corporation 50％的股份，Litrex Corporation生產和銷售工業(yè)噴墨設備。
2004年 四月 在東京證券交易所第部上市的股票。
它將資本從38.5億日元增加到81億日元。
2004年 五月 它將資本從81億日元增加到89.5億日元。
2004年 七月 成立Ulvac Korea Precision，Ltd。，目的是由ULVAC KOREA，Ltd。和ULVAC Tohoku Co.，Ltd。在韓國共同制造大型基板真空部件。
成立Pure Surface Technology，Ltd。，與ULVAC KOREA，Ltd。和韓國真空冶金有限公司共同進行成膜設備零件的表面處理。
2004年 八月 成立日本倚有限公司，生產控制面板和自動控制驅動器與圣經電商人有限公司的合資企業(yè)，愛發(fā)科企動力科技銷售（上海）有限公司在中國的目的。
2004年 十二月 資本金從85.5億日元增加到134.68億日元。
2005年 一月 成立ULVAC KIKO有限公司以及在與江蘇寶驪集樂團，成立合資企業(yè)真空泵零部件的制造，愛為目的（靖江）有限公司在中國的發(fā)病家庭天馬電機銷售。
成立于與沉陽中北真空技術有限公司合資真空爐制造，愛Hatsuka中北真空（沉陽）有限公司出售在中國的目的（目前Aihatsuka真空技術（沉陽）有限公司）。
將成都東方愛知真空吸塵技術有限公司改為子公司，更名為AIST東寶真空（成都）有限公司。
2005年 四月 Vacuum Metallurgical Corporation合并了UMAT Co.，Ltd。，更名為ULVAC Materials Corporation。
為了擴大平板顯示器業(yè)務，我們從富士通VS LSI轉移了設備業(yè)務。
2005年 六月 為了增加ULVAC KOREA，Ltd。的產量，增加了Kanaya工廠。
ULVAC Kiko Co.，Ltd。在宮崎工廠建立了小型真空泵的評估和驗證可靠性評估中心。
2005年 十一月 收購Litrex Corporation在英國劍橋顯示技術有限公司擁有的股份（50％），并使其成為全資子公司。
成立ULVAC（THAILAND）LTD。在泰國銷售和現(xiàn)場支持。
2005年 十二月 建立和ULVAC臺灣制造公司這樣的平板顯示器制造裝置的制造中，一個超凈PRECISION科技股份有限公司向現(xiàn)場支持類似的部件的機械加工和部件清洗旨在臺。
2006年 三月 成立愛知（中國）投資有限公司，以管理和監(jiān)督中國子公司。
2006年 四月 在臺灣成立ULVAC AUTOMATION TAIWAN Inc.，用于制造控制面板等。
2006年 七月 成立ULVAC研究中心KOREA，Ltd。，在韓國進行研發(fā)。
在臺灣成立ULVAC研究中心TAIWAN，Inc。進行研發(fā)。
2006年 八月 收購Sigma Technos Co.，Ltd。的股份（70％），該公司生產和銷售精密平臺。
成立ULVAC MALAYSIA SDN.BHD。用于馬來西亞的銷售和現(xiàn)場支持。
2006年 九月 新成立的ULVAC TECHNO CORPORATION神奈川縣神崎市真空設備零件表面處理化學中心。
Miyazaki Kiko Co.，Ltd。宮崎工廠被添加到宮崎縣埼玉市，旨在鞏固小型真空泵的生產。
2006年 十一月 愛知縣愛知工廠在春日井市新成立，以擴大平板顯示器制造設備的生產能力。
2007年 六月 成立ULVAC，Inc。印度分公司。擴大印度業(yè)務。
2007年 九月 成立Sigma Technos Co.，Ltd?？偛抗S，在埼玉縣日高市制造和銷售大型精密工作臺。
2007年 十一月 箕電商人有限公司，愛Hatsuka箕電科技（上海）有限公司因轉讓控股有限公司Aihatsuka自動化科技（上海）公司名稱變更為股份有限公司。

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